Dual Beam FIB

離子束透過物理碰撞來達到切割之目的。 這一過程具有高精度和可控性，適用於奈米級的加工和研究。

在一般工作電壓下，利用電透鏡將離子束聚焦，形成直徑極小的離子束。 離子束的大小由一連串變化孔徑決定，根據應用需

目前的離子束為液相金屬離子源（Liquid Metal Ion Source, LMIS）。 其中鎵（Ga）元

利用電透鏡將離子束聚焦成為微小尺寸的顯微切割儀器。