⓷ 聚焦機制

• 在一般工作電壓下，利用電透鏡將離子束聚焦，形成直徑極小的離子束。
• 離子束的大小由一連串變化孔徑決定，根據應用需求進行優化。
• 再經過二次聚焦，將離子束準確定位於試片表面。