SEM 掃描式電子顯微鏡

影像：

1. SE（二次電子）
2. BSE（背向散射電子）
3. EDS（特徵 X-Ray訊號）

特點：

1. 大尺寸樣品腔體：L:120 * W:100 * H:75（mm）。
2. 最小解析度：1.0 nm （20 kV）。

技術限制：

1. 真空相容性：測試樣品需要高度真空相容性。
2. 材料限制：樣品須為固態或不具揮發性材質。
3. 材質限制：無法對具感磁性、液體樣品進行拍攝。

應用範圍：

1. 高解析顯微尺寸量測，如 IMC layer、Thin film。
2. 各式材料合金組織觀察。
3. EDS 微區材料定性/半定量元素分析。
4. 微結構異常觀察，如 Void、Crack、Non-wetting。