離子束研磨及拋光

特點：

1. 可直接 SEM 觀察：經過離子束研磨後，樣品不需額外的處理即可直接進行掃描電子顯微鏡（SEM）觀察。
2. 優於傳統手動研磨：不會受到傳統手動研磨而在樣品表面產生應力或拉扯造成樣品結構破壞或是界面模糊。

應用範圍：

1. 玻璃、陶瓷等材料。
2. 一般封裝樣品。